采用化学气相沉积法制备的聚氯代对二甲苯水汽阻隔母粒膜(ParyleneC，简称PC膜)是一种半结晶的表面涂覆材料，具有优良的力学、电绝缘、水汽阻隔等性能，在半导体、微电子器件、传感器的防潮保护等领域得到了宽泛应用。然而，日益提高的电子器件可靠性要求需要进一步提高现有PC膜的水汽阻隔性能。

当前主要采用热退火的方式提高PC水汽阻隔母粒膜的结晶度，使其形成更致密的分子堆积，从而提高PC水汽阻隔母粒膜的水汽阻隔性能，然而薄膜整体结晶度提高的同时会导致薄膜变脆。利用一种新型的表面改性方法提高聚氯代对二甲苯水汽阻隔母粒膜(Parylene C，简称PC膜)的水汽阻隔性，即超热氢交联技术(Hyperthermal Hydrogen InducedCross—linking，HHIC)心。其原理如下，利用具有适当能量的氢分子(能量大于10 eV的氢分子称为超热氢分子)选择性地剥离碳氢键上的氢原子，生成碳自由基并在不破坏其它官能团的同时实现分子链交联的方法。采用此技术处理厚度约110um的PC水汽阻隔母粒膜，通过调控氢分子能量有选择地剥离PC水汽阻隔母粒膜膜表面C．H键中的氢原子，从而膜的表面产生碳自由基，在不破坏基材的情况下，表面产生的碳自由基形成稳定的化学交联结构，解决了PC水汽阻隔母粒膜表面能低，与其他材料粘接性能差的困难，同时利用HHIC技术制得的阻隔膜克服了多层膜工艺复杂、成本昂贵且在改性的过程中破坏膜基材优异性能等缺陷，也满足了单层材料在阻隔性方面的不足。因此，从测试结果看出，利用HHIC技术改性得到的阻隔膜，不但具有反应条件温和、可控、绿色环保等优势，同时利用HHIC技术制得的水汽阻隔母粒膜膜克服了多层膜工艺复杂、成本昂贵且在改性的过程中破坏膜基材优异性能等缺陷，也满足了单层材料在阻隔性方面的不足。

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