氮化碳超硬防划伤母粒膜层作为硬质材料通常运用在材料表面以增强其耐磨性，如应用于金属刀具、陶瓷及家用器具等常用材料表面加硬领域。目前关于氮化碳超硬防划伤母粒膜层的研究还处于实验室阶段，一般采用高压热解、等离子体增强化学气相沉积法及溅射法等，且均是在非透明基材上镀制的非透明加硬膜层。虽然已经发展了若干适用于产业应用的有效高新制备技术，但在金属刀具、陶瓷等材料上实验时，由于氮化碳超硬防划伤母粒衬底和层料的应力差较大，都存在薄层断裂、脱落，且有膜层不均匀等现象，硬度也大为降低。

目前技术所开发的氮化碳薄层在可见光波段透过率多在80％以下，不能应用于透过率要求在90％P2k的光学玻璃产品，如手机、电脑、电视等玻璃保护面板。氮化碳超硬防划伤母粒的结构有五种，其中除了类石墨相外，其它四种相的硬度都接近金刚石，氮化碳超硬防划伤母粒膜层中石墨相的产生将使薄膜固有应力突变增大，直接表现在硬度和耐磨性下降，透过率也同时下降，如何有效控制成膜中石墨相的质量分数是影响膜层硬度的关键。通过工艺装备的改进和新工艺方法的应用，采用磁控溅射法在玻璃基板上沉积A1：0，／SiO：／CNx多层复合纳米薄膜，在立式连续镀膜生产线上实现了稳定的超硬氮化碳防划伤母粒纳米膜层的获得。

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